AD公司总裁兼首席执行官VincentRoche在《这些创新将影响我们2018年的生活》一文中，异构制造的话题首次被视为行业未来发展趋势的重要观察角度。

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他认为，随着深亚微米技术的飞速发展成本和摩尔定律面临着越来越严峻的技术和成本挑战，各种技术的异构集成将增加在单个包装、单层压板甚至单个硅上增加。将出现促进异构制造资本化的新商业模式，使无力投资最先进IC小规模半导体光刻技术制造商实现重组创新。对于范围更广、规模更大的供应商来说，将信号处理算法集成到芯片有助于提高其方案价值。

从两种专利技术的应用来看，异构集成

AD大boss我对异构集成非常乐观。我不得不提到异构制造的典型技术，该公司拥有独特的专利——iCoupler磁隔离技术。维基百科全书的介绍是，该技术的核心是通过隔离屏障发射和接收信号的平面变压器。这些变压器完全由标准半导体制造工艺集成。变压器由聚酰亚胺层分离的两个线圈组成，聚酰亚胺层起到隔离屏障的作用。

这种数字隔离技术解决了光耦合器的局限性——速度低、功耗大，其他功能难以集成，性能随时间降低。AD该芯片级变压器技术也将应用于其中isoPower隔离电源在单包装中实现DCDC转换与数据隔离的集成，使工程师更容易摆脱光耦合器在成本、尺寸、功耗、性能和可靠性方面的限制。AD公开数据显示，目前已采用超过10亿元iCoupler应用技术隔离通道。

4通道iCoupler隔离器结构图(ADuM140x)

说到异构制造，当然也要提到微机电系统已经成为主流传感器和执行器技术几十年的发展(MEMS)。微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)的基础上发展起来的，集光刻、AD中国代理腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工是最典型的异构制造技术，集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等为一体。

AD公司在MEMS它在技术上也有着深厚的历史渊源。公开资料显示，世界上第一个成功开发、制造和商业化的MEMS加速度计是AD公司于1991年发布ADXL50加速度计;AD公司于2002年发布了第一批集成公司MEMS陀螺仪ADXRS150。以此为开始，AD公司建立了以高可靠性和高性能为卖点的巨大卖点MEMS产品业务已为汽车、工业和消费电子应用亿多个惯性传感器。

AD芯片级包装引线框MEMS开关(四开关)RF继电器(四开关)尺寸比较

异构制造让AD从2016年底开始，技术革命再次攻城略地RFMEMS开关说起，ADGM1304和ADGM1004MEMS行业对开关产品MEMS开关技术的探索首次真正投入商业用途，提供0Hz(DC)到14GHz的RF同时，在密封硅电容器中使用静电激活开关，低压低电流驱动器IC大大提高了运行性能，使开关体积减小95%，速度加快30倍，可靠性提高10倍，功耗仅为原来的十分之一。

RFMEMS开关ADGM1304剖面示意图

开关技术革命性突破，异构集成再立新功

100多年前，传统的机电继电器被电子行业采用，今天仍被广泛使用。然而，早在电报问世之初，传统继电器造成的各种性能局限性就存在。过去30年来，MEMS开关一直被标榜为性能有限的机电继电器的优秀替代品，因为它易于使用，尺寸小，可以以极小的损耗可靠地传输0Hz/dc至数百GHz该行业一直期待着该技术完全改变电子系统的实现。

目前，传统的开关技术或多或少都有缺点，没有产品提供理想的解决方案，包括带宽窄、动作寿命有限、通道数量有限、包装尺寸大。与继电器相比，MEMS该技术一直有潜力实现最高水平的开关性能，其可靠性高于几个数量级，而且尺寸很小。然而，很难通过大规模生产大规模提供可靠产品的挑战，这使得许多人试图开发MEMS开关技术公司停滞不前。

AD投入大量资金开发的黄金悬臂梁结构(图为四个MEMS悬臂开关梁)

在行业公开的信息中，FoxboroCompany是最早开始MEMS1984年，世界上最早的机电开关专利之一申请了开关研究。据AD公司专家透露，AD1990年开始通过一些学术项目参与MEMS八年后，开关技术研究终于开发出了一种MEMS一些早期原型产品是根据开关设计制作的。2011年，AD公司开始大幅增长MEMS开关项目的投资促进了自身的先进性MEMS开关制造设施建设，五年后行业率先推出真正的商业用途MEMS对于传统的继电器开关器开关的革命性变化。

在AD在公开资料中，我们可以看到异构制造技术研发的匠心。为提高开关的灵巧性，AD悬臂梁结构由黄金制成。同时，为了避免黄金与黄金的接触设计，不利于提高动作寿命，接触材料改为硬质合金属，其使用寿命大大提高，即开关次数。每个悬臂梁接触点采用静电动作，在悬臂梁下施加高压直流电压，控制开关导通。当导电时，静电吸引力拉下悬臂，所有5个触点都降低。每个触点的导电阻为5欧姆。组合后，整体导电阻会小得多，从而传输功率达到36dBm。触点导通时的实际移动距离只有0.3微米，移动距离小，AD机械设计的关键是专利密封壳技术有助于提高可靠性。

作为异构集成的新成功典范，实现了开关性能和尺寸缩小的巨大飞跃。RFMEMS开关ADGM1304和ADGM1004实现了同类最佳0Hz/dc至Ka波段及以上性能比继电器具有数量级循环寿命和优异的线性和超低功耗要求，解决了传统问题MEMS该技术限制了商业应用的许多技术难点，帮助工程师开发更快、更小、更节能、更可靠的产品。