MEMS传感器已经发展了40多年，已经渗透到汽车、工业和人们的日常生活中。例如，手机中常用的麦克风和加速器。手机里的MEMS麦克风越来越多，以便更好地拾取声音；手机加速器的精度越来越高。例如，当你用手机导航时，当汽车进入隧道时，手机仍然可以导航。此时，它不再依赖于卫星导航，而是依赖于手机MEMS芯片实现。

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在交通方面，将使用汽车安全气囊、车身稳定控制或高速铁路上的一些安全监控MEMS。

在医疗方面，一个典型的案例是过去非常依赖医生的准确手术技术，现在使用了一些非常小的手术技术MEMS传感器能引导手术路径，让一些不那么专业的医生还能做专业的手术。

不久前，AD亚太微机电产品线总监赵延辉先生AD/AD介绍了代理等媒体MEMS位置服务、智能制造和地震监测中传感器的最新应用趋势，AD部分领先产品。

AD亚太地区微机电产品线总监 赵延辉

1 高精度精度位置服务

1.1 位置服务10个应用场景

2019年10月底和11月初，中国移动投资3亿多元，购买了4000多个基站。这些基站不是通常意义上的移动通信基站，而是用来提供高精度的定位服务。

为什么中国移动要提供这样的位置服务？因为现在5G时代即将到来，可以真正通过5G技术实现万物互联。万物互联后，需要知道物的准确位置。下图列出了自动驾驶、手机定位等需要高精度定位的十大应用。

1.2 弥补卫星导航的不足

2020年，中国北斗三号卫星可以完成全球布局，也将为利用北斗实现高精度定位服务的国内市场带来井喷式发展。MEMS相关性是什么？事实上，与惯性导航不可分割的是，大量需求与网络中需要位置的信息，因为以下五个方面会带来很大的定位精度误差。

1)目前北斗三号卫星的误差精度约为2.5~5 m对于许多应用程序来说，精度远远不够，因为如果此时连接一个岔路口，导航可能会引导错误的方向。因此，提高卫星导航精度必须有一些辅助手段。

2)俗话说：卫星导航取决于天空，因为卫星在外太空传输信号，首先通过大气电离层和对流层，会有一定的折射误差，所以手机和高精度接收器会收到一定的噪音。

3)之所以能通过卫星定位，是因为我们准确地知道卫星的位置，但是卫星也有轨道误差。

4)理论上，各种手机或接收器都能接收到卫星传回的信号。但许多人生活在城市峡谷中不仅接收到卫星直接传回的信号，还接收到卫星信号在建筑物上反射的信号，它们会产生多路径效应。

5）有些场景没有卫星信号。例如，当汽车驶入隧道或室内停车场时。这对于目前非常流行的自动驾驶概念来说是一个挑战，因为当自动车驶入隧道时，它们无法驶出车道线。一般行业要求精度不超过20 cm，这个时候只能靠惯导。惯导用了MEMS技术。

1.3 MEMS惯导是定位安全的最后一个障碍

有些人可能认为这有点危言耸听。例如，当汽车进入隧道时，还有许多其他技术，如视觉和雷达。但有两个原因。

所有其他技术都非常依赖于外部环境。例如，在使用卫星导航之前，卫星导航必须能够看到卫星。由于雾霾等空气质量的影响，雷达可能会失效。至于视觉，就像人眼一样。以隧道场景为例。如果白天外面很亮，突然从明亮的环境开到黑暗的环境，就像人眼瞬间失明一样。此时，视觉无法提供准确的位置判断。在强光下，人们看不到东西，视觉也是如此。因此，视觉受到太多环境的影响，包括车载里程计如何打滑车载路面？它们都过于依赖外部环境。只有惯导IMU(惯性测量单元)不依赖任何外部环境。

2)做导航定位的时候，感觉导航更新比较慢，比如速度快的时候，去一个路口，开过去的时候说岔路口右转。这是因为许多卫星导航或视觉更新太慢，比如卫星导航，通常是1 s更新一次，现在最快可以做几十次Hz，即1 s几十次更新。虽然涉及国防安全的高端应用最多可达数百个Hz等级，还远远达不到连续导航的水平。连续导航至少需要几个ms级，这是AD IMU能轻松做到的。

不过，IMU也并非十全十美，取决于多长时间，例如进入隧道了，在其它传感器都失效的情况下，希望车不出车道线20 cm依靠精度IMU 10 s、1 h能做到吗？这时，依赖IMU需要选择的传感器时间越长，精度越高，这意味着传感器越多越好，而不考虑传感器的性能。如果选择不当，可能会带来一个AD中文官网一些无用的数据无法实现准确的定位。